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俄罗斯造出150纳米光刻机 性能相当于20年前的奔腾4水平

发布日期:2026-07-22 16:20 阅读:
金牌财经排行榜报道,7月22日,据快科技,俄罗斯绿城纳米技术中心(ZNTC)已成功研制出一台电子束光刻机(ELL)原型机,设计标准为150纳米。该项目属于俄罗斯国家计划科学技术发展框架下的重点研发任务,代号为Progress ELL 150。
这台设备主要用于制造光掩模,也可在不使用掩模的情况下直接在基板上绘制电路图案。150纳米制程大致对应20年前英特尔奔腾4的性能水平。2025年ZNTC曾展示过350纳米分辨率的同类设备,目前已向90纳米和130纳米技术节点推进。
行业专家指出,这种设备仅适合航天、国防等领域的专用芯片小批量生产。

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